铜合金溅射靶

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480002945.5

申请日：

2014-02-28

公开(公告)号：

CN104781447A

公开(公告)日：

2015-07-15

发明(设计)人：

大月富男长田健一

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C901 C22C905 C22F108 C22F100

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

王海川;穆德骏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101620057637 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2014800029455 申请日:20140228
2017-10-24	授权	授权
2015-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

铜合金溅射靶 [P].

森晓 ;

坂本敏夫 ;

大久保清之 .

中国专利 :CN104419904A ,2015-03-18

[2]

铜合金溅射靶及铜合金溅射靶的制造方法 [P].

森晓 ;

坂本敏夫 ;

大久保清之 .

中国专利 :CN104342574B ,2015-02-11

[3]

铜合金溅射靶、其制造方法以及半导体元件布线 [P].

冈部岳夫 .

中国专利 :CN1771349A ,2006-05-10

[4]

铜合金溅射靶及其制造方法 [P].

守井泰士 ;

大月富男 .

中国专利 :CN107109633B ,2017-08-29

[5]

溅射靶用铜合金制热轧板及溅射靶 [P].

大久保清之 ;

小出正登 .

中国专利 :CN104812920A ,2015-07-29

[6]

铜合金溅射膜及制造方法、铜合金溅射靶及制造方法 [P].

山岸浩一 ;

渡边宏幸 .

日本专利 :CN117987777A ,2024-05-07

[7]

铜合金薄膜、铜合金溅射靶和平板显示器 [P].

钉宫敏洋 ;

富久胜文 ;

高木胜寿 ;

中井淳一 .

中国专利 :CN100392505C ,2006-05-10

[8]

铜或铜合金溅射靶材包装件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

郑文翔 ;

刘庆 .

中国专利 :CN201660228U ,2010-12-01

[9]

钌合金溅射靶 [P].

小田国博 .

中国专利 :CN101198717B ,2008-06-11

[10]

铜或铜合金溅射靶材的清洗方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

郑文翔 ;

刘庆 .

中国专利 :CN101724818A ,2010-06-09

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