一种电阻法生长碳化硅晶体用装置及方法

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专利类型
发明
申请号
CN201811419785.0
申请日
2018-11-26
公开(公告)号
CN109371461A
公开(公告)日
2019-02-22
发明(设计)人
张岩 付吉国 董伟 赵然 周卫东 曾蕾
申请人
申请人地址
100089 北京市海淀区长春桥路11号3号楼801
IPC主分类号
C30B1700
IPC分类号
C30B2936
代理机构
代理人
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
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共 50 条
[1]
一种碳化硅晶体电阻法退火用温控系统及方法 [P]. 
张岩 ;
付吉国 ;
董伟 ;
赵然 ;
周卫东 ;
曾蕾 .
中国专利 :CN109554761A ,2019-04-02
[2]
一种泡生法生长蓝宝石晶体装置及方法 [P]. 
张岩 ;
付吉国 ;
董伟 ;
赵然 ;
周卫东 ;
曾蕾 .
中国专利 :CN109306520A ,2019-02-05
[3]
碳化硅晶体生长装置、方法及碳化硅晶体 [P]. 
林育仪 ;
廖建成 ;
陈增强 ;
余明轩 .
中国专利 :CN116695238B ,2024-03-22
[4]
碳化硅晶体生长装置、方法及碳化硅晶体 [P]. 
刘曦 .
中国专利 :CN116815320B ,2024-01-12
[5]
一种碳化硅电阻法生长晶体的退火装置及方法 [P]. 
张岩 ;
赵然 ;
董伟 ;
付吉国 ;
周卫东 ;
曾蕾 .
中国专利 :CN109825882A ,2019-05-31
[6]
一种碳化硅电阻法生长晶体的温场模拟系统 [P]. 
张岩 ;
赵然 ;
董伟 ;
付吉国 ;
周卫东 ;
曾蕾 .
中国专利 :CN109913949A ,2019-06-21
[7]
碳化硅晶体生长方法、装置及碳化硅晶体 [P]. 
侯磊 .
中国专利 :CN120401012A ,2025-08-01
[8]
碳化硅晶体生长方法、装置及碳化硅晶体 [P]. 
侯磊 .
中国专利 :CN120465104A ,2025-08-12
[9]
液相法生长碳化硅晶体的装置及方法 [P]. 
巴音图 .
中国专利 :CN117051471B ,2024-03-22
[10]
碳化硅晶体生长用石墨组件及碳化硅晶体生长装置 [P]. 
钱昊 ;
梁刚强 ;
苏奕霖 ;
李强 ;
杨倩倩 .
中国专利 :CN220433065U ,2024-02-02