用于物理气相沉积设备的护罩结构及其物理气相沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910288270.X

申请日：

2019-04-11

公开(公告)号：

CN109837513A

公开(公告)日：

2019-06-04

发明(设计)人：

王大为吴孝哲吴龙江林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京市一法律师事务所 11654

代理人：

刘荣娟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-04	公开	公开
2019-06-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190411
2021-05-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20190604

共 50 条

[1]

用于物理气相沉积设备的护罩结构以及物理气相沉积设备 [P].

王大为 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN110004418A ,2019-07-12

[2]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

陈杰锋 ;

张辉 .

中国专利 :CN108950510A ,2018-12-07

[3]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

陈杰锋 ;

李理 .

中国专利 :CN208667840U ,2019-03-29

[4]

用于物理气相沉积的沉积环和物理气相沉积设备 [P].

白志民 ;

李萌 ;

邱国庆 ;

佘清 ;

王厚工 ;

赵梦欣 ;

丁培军 .

中国专利 :CN106637124A ,2017-05-10

[5]

物理气相沉积设备及物理气相沉积工艺 [P].

边国栋 .

中国专利 :CN103572211B ,2014-02-12

[6]

物理气相沉积设备和物理气相沉积方法 [P].

李扬德 ;

卢昆 ;

高宽 .

中国专利 :CN107723675A ,2018-02-23

[7]

物理气相沉积设备 [P].

尹勇 .

中国专利 :CN114381692A ,2022-04-22

[8]

物理气相沉积设备 [P].

何龑 ;

杨小军 .

中国专利 :CN202705452U ,2013-01-30

[9]

物理气相沉积设备 [P].

周云 ;

宋维聪 ;

潘钱森 ;

霍焕俊 .

中国专利 :CN110527967B ,2019-12-03

[10]

物理气相沉积设备 [P].

佘清 .

中国专利 :CN103849840B ,2014-06-11

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