一种半导体用石墨表面处理方法

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申请号
CN202011461290.1
申请日
2020-12-13
公开(公告)号
CN114621030A
公开(公告)日
2022-06-14
发明(设计)人
汪洋
申请人
申请人地址
412000 湖南省株洲市天元区中国动力谷自主创新园(研发中心C栋2楼202号)
IPC主分类号
C04B4188
IPC分类号
H01M462 H01M100525
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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