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用于半导体器件的外延膜生长方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN96121634.4
申请日：
1996-10-30
公开(公告)号：
CN1157477A
公开(公告)日：
1997-08-20
发明(设计)人：
青山亨
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21205
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
萧掬昌;王忠忠
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2003-09-17 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 |
| 1997-07-30 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 1997-08-20 | 公开 | 公开 |