一种屏蔽差分多比特硅通孔结构及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201811140729.3
申请日
2018-09-28
公开(公告)号
CN109411433B
公开(公告)日
2019-03-01
发明(设计)人
赵文生 胡庆豪 傅楷 王高峰
申请人
申请人地址
310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
IPC主分类号
H01L2348
IPC分类号
H01L23552 H01L21768 B82Y3000
代理机构
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240
代理人
黄前泽
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种差分多比特硅通孔结构及其制备方法 [P]. 
赵文生 ;
胡庆豪 ;
傅楷 ;
王高峰 .
中国专利 :CN109449138B ,2019-03-08
[2]
便于工艺生产且节省芯片面积的差分硅通孔结构及其工艺 [P]. 
赵文生 ;
胡庆豪 ;
王晶 ;
胡月 ;
王高峰 .
中国专利 :CN111244066A ,2020-06-05
[3]
一种屏蔽差分硅通孔结构及制作方法 [P]. 
卢启军 ;
朱樟明 ;
丁瑞雪 ;
李跃进 ;
杨银堂 .
中国专利 :CN105810663B ,2016-07-27
[4]
针对屏蔽差分硅通孔的RL无源均衡器结构及其设计方法 [P]. 
赵文生 ;
傅楷 ;
徐魁文 ;
董林玺 ;
王高峰 .
中国专利 :CN108988815B ,2018-12-11
[5]
一种硅通孔结构及其制备方法 [P]. 
蔡坚 ;
李金睿 ;
谭琳 ;
王谦 ;
陈瑜 ;
王水弟 .
中国专利 :CN102938396B ,2013-02-20
[6]
硅通孔互联结构及其制备方法以及硅通孔射频传输结构 [P]. 
何舒玮 ;
童伟 ;
陈依军 ;
胡柳林 ;
吕继平 ;
王栋 ;
唐仲俊 .
中国专利 :CN107706173A ,2018-02-16
[7]
运用硅通孔的低阻止区差分传输结构及其层间互连结构 [P]. 
赵文生 ;
傅楷 ;
徐魁文 ;
董林玺 ;
王高峰 .
中国专利 :CN108538811A ,2018-09-14
[8]
针对屏蔽差分硅通孔的RC无源均衡器结构及其设计方法 [P]. 
赵文生 ;
傅楷 ;
胡月 ;
王高峰 .
中国专利 :CN108964627B ,2018-12-07
[9]
差分硅通孔阵列中的噪声抑制方法及其差分信号传输结构 [P]. 
赵文生 ;
泮金炜 ;
王高峰 .
中国专利 :CN108565256A ,2018-09-21
[10]
一种基于硅通孔结构的金属填充方法及硅通孔结构 [P]. 
云世昌 ;
焦斌斌 ;
王桂磊 ;
孔延梅 ;
张乐民 ;
俞利民 ;
陈大鹏 .
中国专利 :CN105679703A ,2016-06-15