共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆位置调整机构及调整方法
被引：0
申请号：
CN202210528468.2
申请日：
2022-05-16
公开(公告)号：
CN115020306A
公开(公告)日：
2022-09-06
发明(设计)人：
张昊
司伟
樊树宝
王莉中
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京头头知识产权代理有限公司 11729
代理人：
白芳仿;刘锋
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20220516 |
| 2022-09-06 | 公开 | 公开 |