一种晶圆传片位置调整系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511678557.5

申请日：

2025-11-17

公开(公告)号：

CN121171957A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

穆娟张明月

申请人：

盛吉盛半导体科技（北京）有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路15号院2号楼7层703室

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/67

代理机构：

北京申翔知识产权代理有限公司 11214

代理人：

黄超

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆传片控制方法、装置、晶圆传片系统及可读存储介质 [P].

张刚 .

中国专利 :CN114783905A ,2022-07-22

[2]

晶圆承托装置、半导体工艺腔室及晶圆处理方法 [P].

徐范植 ;

高建峰 ;

丁云凌 ;

刘卫兵 .

中国专利 :CN114551326A ,2022-05-27

[3]

晶圆位置调整装置 [P].

丁洋 ;

崔亚东 ;

王永昌 ;

陈章晏 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209496850U ,2019-10-15

[4]

一种晶圆位置调整系统 [P].

李栋 .

中国专利 :CN222126480U ,2024-12-06

[5]

一种晶圆片自动中心定位仪 [P].

雷枫 ;

李少博 ;

问孝明 .

中国专利 :CN203787407U ,2014-08-20

[6]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

[7]

一种轨道车辆车间铰接实时调整系统及调整方法 [P].

沈龙江 ;

易兴利 ;

陶功安 ;

何烨 ;

喻佳文 ;

汪彦宏 ;

肖泽桦 ;

张建全 ;

钟晓波 ;

皇甫立志 ;

李春 ;

王顺 ;

李振华 ;

邹文辉 .

中国专利 :CN114407960A ,2022-04-29

[8]

一种晶圆位置调整机构及调整方法 [P].

张昊 ;

司伟 ;

樊树宝 ;

王莉中 .

中国专利 :CN115020306A ,2022-09-06

[9]

晶圆传片机 [P].

芮守祯 ;

何茂栋 ;

肖钢 ;

周奕萌 ;

徐俊成 ;

司马超 .

中国专利 :CN304168897S ,2017-06-09

[10]

一种对晶圆位置进行校准的装置及方法 [P].

杜永超 ;

史常龙 ;

徐家庆 ;

唐丽娜 .

中国专利 :CN116864417B ,2024-03-08

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