一种晶圆位置调整系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420886191.5

申请日：

2024-04-25

公开(公告)号：

CN222126480U

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

李栋

申请人：

武汉楚兴技术有限公司

申请人地址：

430040 湖北省武汉市东西湖区径河街网安大道7号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/687

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

韩丽波

法律状态：

授权

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆位置调整装置 [P].

丁洋 ;

崔亚东 ;

王永昌 ;

陈章晏 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209496850U ,2019-10-15

[2]

一种晶圆传片位置调整系统及方法 [P].

穆娟 ;

张明月 .

中国专利 :CN121171957A ,2025-12-19

[3]

一种晶圆传送装置和晶圆清洗系统 [P].

牛来友 ;

马一楠 ;

段昧存 .

中国专利 :CN223140744U ,2025-07-22

[4]

晶圆位置调整装置及刻蚀机台 [P].

朱成龙 ;

拉海忠 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN118969697A ,2024-11-15

[5]

一种图书位置调整系统 [P].

王尚 .

中国专利 :CN107627297A ,2018-01-26

[6]

一种便于移动位置的晶圆搬运机 [P].

刘路通 .

中国专利 :CN218385151U ,2023-01-24

[7]

晶圆位置检测调整装置及立式炉 [P].

赵燕平 ;

刘晓东 ;

张进军 .

中国专利 :CN119307893A ,2025-01-14

[8]

一种晶舟盒内晶圆位置检测装置 [P].

乔从缓 ;

闻国涛 ;

乔立宝 ;

于文奇 ;

孙玉男 .

中国专利 :CN114379830B ,2022-04-22

[9]

一种晶圆位置偏离识别装置 [P].

方亮 .

中国专利 :CN211125588U ,2020-07-28

[10]

一种晶圆位置精确扫描装置 [P].

蒋宇飞 ;

程宣林 ;

蒋焰云 ;

朱建国 .

中国专利 :CN218004794U ,2022-12-09

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