一种晶舟盒内晶圆位置检测装置

被引：0

申请号：

CN202210289165.X

申请日：

2022-03-23

公开(公告)号：

CN114379830B

公开(公告)日：

2022-04-22

发明(设计)人：

乔从缓闻国涛乔立宝于文奇孙玉男

申请人：

申请人地址：

210000 江苏省南京市浦口区浦口经济开发区双峰路69号C-93

IPC主分类号：

B65B728

IPC分类号：

B65B5720 G01B1100

代理机构：

郑州裕晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41142

代理人：

田由甲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B65B 7/28 申请日:20220323
2022-06-10	授权	授权
2022-04-22	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆位置检测装置、晶圆位置检测方法 [P].

袁林涛 .

中国专利 :CN110729216A ,2020-01-24

[2]

晶圆位置检测装置 [P].

朱兵 .

中国专利 :CN220856495U ,2024-04-26

[3]

晶圆位置检测装置 [P].

王昕昀 ;

孟杰 ;

薛波 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208954953U ,2019-06-07

[4]

一种晶圆位置检测装置 [P].

陈增亮 ;

魏寅 ;

刘乐 ;

曾岩 ;

吴志军 ;

李安平 .

中国专利 :CN220820260U ,2024-04-19

[5]

一种晶圆位置检测装置 [P].

徐枭宇 .

中国专利 :CN112614797B ,2021-04-06

[6]

一种晶圆位置检测装置 [P].

杨晓亮 ;

杜罡 .

中国专利 :CN222483306U ,2025-02-14

[7]

晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法 [P].

王金 ;

臧宇 ;

吴金马 .

中国专利 :CN115166848B ,2024-11-26

[8]

一种适用于晶圆承载台上晶圆盒内晶圆的检测装置 [P].

顾阳洋 ;

林坚 ;

卢伟 ;

沈东民 ;

章健 .

中国专利 :CN218498021U ,2023-02-17

[9]

一种晶圆切边位置检测装置 [P].

王文举 ;

田知玲 ;

赵磊 ;

廉金武 ;

梅辰萌 .

中国专利 :CN114719750A ,2022-07-08

[10]

一种晶圆的位置检测装置 [P].

栾克豪 ;

闫鹏 ;

王玉宝 .

中国专利 :CN214470622U ,2021-10-22

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