一种光学系统波像差测量装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420429293.0

申请日：

2014-07-31

公开(公告)号：

CN204008073U

公开(公告)日：

2014-12-10

发明(设计)人：

卢增雄齐月静苏佳妮杨光华周翊王宇

申请人：

申请人地址：

100094 北京市海淀区邓庄南路9号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

宋焰琴

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-18	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01M 11/02 登记生效日:20200831 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更后权利人:中国科学院微电子研究所变更事项:地址变更前权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号变更后权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号
2020-09-18	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01M 11/02 登记生效日:20200831 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院光电研究院变更后权利人:中国科学院空天信息创新研究院变更事项:地址变更前权利人:100094 北京市海淀区北京市海淀区邓庄南路9号变更后权利人:100190 北京市海淀区北四环西路19号
2014-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光学系统波像差测量装置与测量方法 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN104101487A ,2014-10-15

[2]

光学系统波像差检测装置 [P].

金春水 ;

王丽萍 ;

张宇 .

中国专利 :CN102289152B ,2011-12-21

[3]

一种光学系统波像差检测装置 [P].

吕保斌 ;

邢延文 ;

林妩媚 ;

刘志祥 .

中国专利 :CN104181779B ,2014-12-03

[4]

施瓦茨光学系统波像差测量方法 [P].

戴凤钊 ;

王向朝 ;

蔡燕民 .

中国专利 :CN104236855A ,2014-12-24

[5]

一种深紫外光学系统波像差检测装置 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

齐威 ;

王宇 ;

周翊 .

中国专利 :CN206440452U ,2017-08-25

[6]

一种基于夏克-哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置与方法 [P].

齐月静 ;

卢增雄 ;

齐威 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

张清洋 ;

李兵 ;

王宇 .

中国专利 :CN107144419B ,2017-09-08

[7]

一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置 [P].

齐月静 ;

卢增雄 ;

齐威 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

张清洋 ;

李兵 ;

王宇 .

中国专利 :CN206990194U ,2018-02-09

[8]

点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 [P].

唐锋 ;

王向朝 ;

冯鹏 ;

郭福东 ;

卢云君 .

中国专利 :CN105466668A ,2016-04-06

[9]

点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 [P].

王向朝 ;

唐锋 ;

张国先 ;

徐世福 .

中国专利 :CN105424325A ,2016-03-23

[10]

一种位移测量光学系统 [P].

巴音贺希格 ;

刘兆武 ;

李文昊 ;

李晓天 ;

宋莹 ;

姜珊 ;

王玮 ;

李烁 ;

吕强 .

中国专利 :CN109520428A ,2019-03-26

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