施瓦茨光学系统波像差测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410455642.0

申请日：

2014-09-09

公开(公告)号：

CN104236855A

公开(公告)日：

2014-12-24

发明(设计)人：

戴凤钊王向朝蔡燕民

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-24	公开	公开
2016-09-21	授权	授权
2015-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101595664276 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2014104556420 申请日:20140909

共 50 条

[1]

一种光学系统波像差测量装置与测量方法 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN104101487A ,2014-10-15

[2]

一种光学系统波像差测量装置 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN204008073U ,2014-12-10

[3]

光学系统波像差检测装置 [P].

金春水 ;

王丽萍 ;

张宇 .

中国专利 :CN102289152B ,2011-12-21

[4]

数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法 [P].

戴凤钊 ;

王向朝 ;

唐锋 .

中国专利 :CN104807548A ,2015-07-29

[5]

成像光学系统像差的现场测量方法 [P].

王帆 ;

王向朝 .

中国专利 :CN1570585A ,2005-01-26

[6]

数字相移点衍射干涉仪及光学系统波像差测量方法 [P].

戴凤钊 ;

王向朝 ;

唐锋 .

中国专利 :CN105092056A ,2015-11-25

[7]

点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 [P].

唐锋 ;

王向朝 ;

冯鹏 ;

郭福东 ;

卢云君 .

中国专利 :CN105466668A ,2016-04-06

[8]

点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 [P].

王向朝 ;

唐锋 ;

张国先 ;

徐世福 .

中国专利 :CN105424325A ,2016-03-23

[9]

光刻机成像光学系统像差现场测量方法 [P].

王帆 ;

马明英 ;

王向朝 .

中国专利 :CN100474115C ,2006-11-15

[10]

一种光学系统波像差检测装置 [P].

吕保斌 ;

邢延文 ;

林妩媚 ;

刘志祥 .

中国专利 :CN104181779B ,2014-12-03

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