光学系统波像差检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110127852.3

申请日：

2011-05-18

公开(公告)号：

CN102289152B

公开(公告)日：

2011-12-21

发明(设计)人：

金春水王丽萍张宇

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人：

陶尊新

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-21	公开	公开
2012-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101180924271 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011101278523 申请日:20110518
2012-11-07	授权	授权
2015-07-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101616099109 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2011101278523 申请日:20110518 授权公告日:20121107 终止日期:20140518

共 50 条

[1]

光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法 [P].

金春水 ;

王丽萍 ;

张宇 .

中国专利 :CN102261985A ,2011-11-30

[2]

一种光学系统波像差测量装置 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN204008073U ,2014-12-10

[3]

一种光学系统波像差检测装置 [P].

吕保斌 ;

邢延文 ;

林妩媚 ;

刘志祥 .

中国专利 :CN104181779B ,2014-12-03

[4]

一种光学系统波像差测量装置与测量方法 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN104101487A ,2014-10-15

[5]

点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 [P].

唐锋 ;

王向朝 ;

冯鹏 ;

郭福东 ;

卢云君 .

中国专利 :CN105466668A ,2016-04-06

[6]

点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法 [P].

王向朝 ;

唐锋 ;

张国先 ;

徐世福 .

中国专利 :CN105424325A ,2016-03-23

[7]

施瓦茨光学系统波像差测量方法 [P].

戴凤钊 ;

王向朝 ;

蔡燕民 .

中国专利 :CN104236855A ,2014-12-24

[8]

基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法 [P].

李恋 ;

马天梦 ;

王彬 ;

古斌 .

中国专利 :CN103322942A ,2013-09-25

[9]

一种深紫外光学系统波像差检测装置 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

齐威 ;

王宇 ;

周翊 .

中国专利 :CN206440452U ,2017-08-25

[10]

一种提高光学系统波像差检测精度的方法及装置 [P].

杨晓寒 ;

毕勇 ;

李金鹏 ;

潘森 .

中国专利 :CN117782537A ,2024-03-29

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