一种化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620827266.8

申请日：

2016-08-02

公开(公告)号：

CN205893385U

公开(公告)日：

2017-01-18

发明(设计)人：

李伟任建国岳敏

申请人：

申请人地址：

518106 广东省深圳市光明新区公明办事处西田社区高新技术工业园第8栋

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1644 C23C1624

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋;侯桂丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-18	授权	授权
2020-03-06	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更事项:专利权人变更前:深圳市贝特瑞新能源材料股份有限公司变更后:贝特瑞新材料集团股份有限公司变更事项:地址变更前:518106 广东省深圳市光明新区公明办事处西田社区高新技术工业园第8栋变更后:518106 广东省深圳市光明新区公明办事处西田社区高新技术工业园第8栋

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积装置 [P].

徐龙权 ;

丁杰 ;

张建立 ;

曹盛 ;

赵鹏 ;

罗磊 ;

江风益 .

中国专利 :CN106811736B ,2017-06-09

[2]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[3]

化学气相沉积的装置和方法 [P].

柳钟贤 ;

李诚宰 ;

李在寅 ;

朴根佑 ;

罗润柱 ;

姜洙浩 .

中国专利 :CN102260861A ,2011-11-30

[4]

化学气相沉积装置 [P].

黄全德 ;

黄文正 .

中国专利 :CN1626698A ,2005-06-15

[5]

化学气相沉积装置 [P].

阿诺德·德雷胡泽 ;

雷米·皮埃尔·罗伯特·布维尔 ;

曼侬·费尔南德斯 .

法国专利 :CN118076765A ,2024-05-24

[6]

化学气相沉积装置 [P].

汪宇澄 ;

李一成 ;

陶成钢 ;

赵函一 ;

李冠龙 .

中国专利 :CN102534552A ,2012-07-04

[7]

化学气相沉积装置 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223292634U ,2025-09-02

[8]

化学气相沉积装置 [P].

杨贤烁 .

中国专利 :CN221275886U ,2024-07-05

[9]

化学气相沉积装置 [P].

胡广严 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207331057U ,2018-05-08

[10]

化学气相沉积装置 [P].

汪宇澄 ;

李一成 ;

陈亮 ;

许国青 .

中国专利 :CN102560418A ,2012-07-11

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