集成电路芯片失效分析样品的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410308089.8
申请日
2014-06-30
公开(公告)号
CN105334084A
公开(公告)日
2016-02-17
发明(设计)人
金志明
申请人
申请人地址
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
IPC主分类号
G01N128
IPC分类号
G01N132 H01L2102
代理机构
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
邓云鹏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
集成电路芯片和集成电路芯片的制备方法 [P]. 
高滨 ;
马阿旺 ;
唐建石 ;
钱鹤 ;
吴华强 .
中国专利 :CN120264774A ,2025-07-04
[2]
集成电路芯片失效点定位方法 [P]. 
刘海岸 .
中国专利 :CN109342920A ,2019-02-15
[3]
集成电路芯片的制备方法、系统及集成电路芯片 [P]. 
杨晓龙 ;
柯俊吉 ;
聂纪平 ;
张津 ;
林森 ;
吴畏 .
中国专利 :CN120453172A ,2025-08-08
[4]
一种集成电路芯片的失效分析方法及系统 [P]. 
尚跃 ;
李豪 .
中国专利 :CN114236364B ,2022-03-25
[5]
一种集成电路芯片失效分析的测试设备 [P]. 
蔡逸宇 ;
林泽滨 .
中国专利 :CN218331847U ,2023-01-17
[6]
集成电路的背面光学失效定位样品制备方法及分析方法 [P]. 
张雨田 ;
张朝锋 .
中国专利 :CN103969569A ,2014-08-06
[7]
集成电路芯片的设计方法和集成电路芯片 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN112861464B ,2021-05-28
[8]
集成电路的失效分析方法及系统 [P]. 
金志明 .
中国专利 :CN109725246B ,2019-05-07
[9]
新型集成电路失效分析检测方法 [P]. 
曹贝贝 .
中国专利 :CN112798931A ,2021-05-14
[10]
新型集成电路失效分析检测方法 [P]. 
龚羽 ;
沈春 ;
周耀 .
中国专利 :CN112735968A ,2021-04-30