晶圆侦测装置及晶圆清洗机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711154851.1

申请日：

2017-11-20

公开(公告)号：

CN109817509A

公开(公告)日：

2019-05-28

发明(设计)人：

苏左将张宏源张芳丕张启铭

申请人：

申请人地址：

中国台湾台中市南区文心南路546-3号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279

代理人：

席勇;周勇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-28	公开	公开
2019-06-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20171120

共 50 条

[1]

晶圆侦测装置及晶圆清洗机 [P].

苏左将 ;

张宏源 ;

张芳丕 ;

张启铭 .

中国专利 :CN207398069U ,2018-05-22

[2]

晶圆清洗装置及晶圆清洗机 [P].

赵学彬 ;

吴仪 .

中国专利 :CN111790663A ,2020-10-20

[3]

晶圆清洗方法及晶圆清洗机 [P].

周鑫 ;

孙志超 ;

李禹佟 ;

李政 .

中国专利 :CN117912935A ,2024-04-19

[4]

晶圆盒夹持装置及晶圆清洗机 [P].

李广义 .

中国专利 :CN111244022B ,2020-06-05

[5]

晶圆清洗方法和晶圆清洗机 [P].

李政 ;

曹平 ;

杨昱霖 .

中国专利 :CN118073176A ,2024-05-24

[6]

晶圆清洗机和晶圆清洗方法 [P].

邹静 .

中国专利 :CN120319692A ,2025-07-15

[7]

晶圆清洗方法和晶圆清洗机 [P].

李政 ;

曹平 ;

杨昱霖 .

中国专利 :CN118073176B ,2024-07-09

[8]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN307370268S ,2022-05-27

[9]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[10]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616B ,2025-09-12

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