晶圆打磨设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202020898389.7
申请日
2020-05-25
公开(公告)号
CN212553074U
公开(公告)日
2021-02-19
发明(设计)人
沈艳东
申请人
申请人地址
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间
IPC主分类号
B24B906
IPC分类号
B24B4100 B24B4102 B24B4106 B24B4720
代理机构
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人
颜希文;宋亚楠
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆打磨设备 [P]. 
沈艳东 .
中国专利 :CN111482865A ,2020-08-04
[2]
晶圆打磨机构 [P]. 
黄毅 ;
陈章水 ;
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[3]
用于再生晶圆边角打磨设备 [P]. 
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王俊豪 ;
韩五静 .
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宋祥祎 ;
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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