晶圆打磨设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010452142.7
申请日
2020-05-25
公开(公告)号
CN111482865A
公开(公告)日
2020-08-04
发明(设计)人
沈艳东
申请人
申请人地址
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间
IPC主分类号
B24B906
IPC分类号
B24B4100 B24B4102 B24B4106 B24B4720
代理机构
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人
颜希文;宋亚楠
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆打磨设备 [P]. 
沈艳东 .
中国专利 :CN212553074U ,2021-02-19
[2]
晶圆打磨机构 [P]. 
黄毅 ;
陈章水 ;
沈艳东 ;
何飞舍 ;
雷理 .
中国专利 :CN212553076U ,2021-02-19
[3]
用于再生晶圆边角打磨设备 [P]. 
俞辉 ;
王俊豪 ;
韩五静 .
中国专利 :CN114918773A ,2022-08-19
[4]
一种半导体晶圆打磨设备 [P]. 
曾碧金 ;
肖燕霞 .
中国专利 :CN213380957U ,2021-06-08
[5]
一种晶圆减薄打磨设备 [P]. 
李蛇宏 ;
杨益东 ;
席强 .
中国专利 :CN120244747A ,2025-07-04
[6]
一种晶圆减薄打磨设备 [P]. 
李蛇宏 ;
杨益东 ;
席强 .
中国专利 :CN120244747B ,2025-08-08
[7]
半导体晶圆打磨装置 [P]. 
周南柏 ;
邹少伟 .
中国专利 :CN115319565A ,2022-11-11
[8]
一种晶圆切片机圆边打磨设备 [P]. 
张帅 .
中国专利 :CN112518488A ,2021-03-19
[9]
一种硅片生产用晶圆打磨设备 [P]. 
翁裕斌 ;
朱峰 ;
翁伊宁 .
中国专利 :CN217493709U ,2022-09-27
[10]
晶圆检查设备 [P]. 
安泰兴 ;
拉辛·爱丽霞·奥克斯特·拿索 ;
具男一 ;
朴秀桓 ;
吴相演 .
韩国专利 :CN112420553B ,2025-06-24