共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种晶圆切片机圆边打磨设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011360007.6
申请日：
2020-11-27
公开(公告)号：
CN112518488A
公开(公告)日：
2021-03-19
发明(设计)人：
张帅
申请人：
申请人地址：
202150 上海市崇明区长兴镇潘园公路1800号3号楼22490室(上海泰和经济发展区)
IPC主分类号：
B24B906
IPC分类号：
B24B5506
B24D500
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 9/06 申请日:20201127 |
| 2021-03-19 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-07 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B24B 9/06 申请公布日:20210319 |