晶圆切片机及其轮组结构与晶圆切片的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710060561.4

申请日：

2017-01-25

公开(公告)号：

CN107097362A

公开(公告)日：

2017-08-29

发明(设计)人：

雷世爵郭智扬詹志鸿陈展添邱少晖

申请人：

申请人地址：

中国台湾台中市

IPC主分类号：

B28D504

IPC分类号：

B28D700

代理机构：

北京泰吉知识产权代理有限公司 11355

代理人：

张雅军;史瞳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20170125 授权公告日:20200417 终止日期:20210125
2020-04-17	授权	授权
2017-08-29	公开	公开
2017-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101749370757 IPC(主分类):B28D 5/04 专利申请号:2017100605614 申请日:20170125

共 50 条

[1]

晶圆切片机及其收放线装置与晶圆切片的方法 [P].

雷世爵 ;

郭智扬 ;

陈展添 .

中国专利 :CN108789893B ,2018-11-13

[2]

一种晶圆切片机 [P].

张艳强 ;

张焕响 .

中国专利 :CN217144441U ,2022-08-09

[3]

一种晶圆切片机 [P].

尹强 .

中国专利 :CN112606237A ,2021-04-06

[4]

晶圆切片机及其收放线装置 [P].

雷世爵 ;

郭智扬 ;

陈展添 .

中国专利 :CN208232109U ,2018-12-14

[5]

一种晶圆蚀刻切片机 [P].

李峰 .

中国专利 :CN112171085A ,2021-01-05

[6]

顶帽组件及晶圆切片机 [P].

袁凡 ;

顾卫华 ;

焦伟伟 .

中国专利 :CN121004681A ,2025-11-25

[7]

一种晶圆切片机圆边打磨设备 [P].

张帅 .

中国专利 :CN112518488A ,2021-03-19

[8]

晶硅切片机 [P].

杨锦 ;

张玉雯 ;

于利民 .

中国专利 :CN118876253B ,2025-03-14

[9]

一种晶圆切片机用定位设备 [P].

张少洋 .

中国专利 :CN112549340A ,2021-03-26

[10]

一种晶圆切片机用夹持机构 [P].

锁珍 .

中国专利 :CN215966980U ,2022-03-08

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