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抛光定位装置及抛光系统
被引:0
申请号
:
CN202123442873.2
申请日
:
2021-12-31
公开(公告)号
:
CN216759426U
公开(公告)日
:
2022-06-17
发明(设计)人
:
邓海平
申请人
:
申请人地址
:
410100 湖南省长沙市长沙县长沙经济技术开发区漓湘路99号
IPC主分类号
:
B24B2902
IPC分类号
:
B24B4106
B24B4100
代理机构
:
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371
代理人
:
刘华
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-06-17
授权
授权
共 50 条
[1]
抛光装置及抛光系统
[P].
饶桥兵
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饶桥兵
;
聂小威
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聂小威
.
中国专利
:CN206912912U
,2018-01-23
[2]
抛光治具装置及抛光系统
[P].
饶桥兵
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饶桥兵
;
熊亚光
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熊亚光
.
中国专利
:CN206912954U
,2018-01-23
[3]
抛光刀具、抛光装置及抛光系统
[P].
段合露
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机构:
北京小米移动软件有限公司
北京小米移动软件有限公司
段合露
.
中国专利
:CN221111257U
,2024-06-11
[4]
抛光方法及抛光系统
[P].
林岳明
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机构:
上海传芯半导体有限公司
上海传芯半导体有限公司
林岳明
.
中国专利
:CN117891138A
,2024-04-16
[5]
抛光盘及抛光系统
[P].
侯晶
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侯晶
;
许乔
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许乔
;
刘世伟
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刘世伟
;
陈贤华
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陈贤华
;
王健
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王健
;
李洁
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李洁
;
钟波
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钟波
.
中国专利
:CN211220041U
,2020-08-11
[6]
抛光方法及抛光系统
[P].
何昆哲
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机构:
上海新昇半导体科技有限公司
上海新昇半导体科技有限公司
何昆哲
.
中国专利
:CN120901836A
,2025-11-07
[7]
抛光盘及抛光系统
[P].
侯晶
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
侯晶
;
许乔
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
许乔
;
刘世伟
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
刘世伟
;
陈贤华
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
陈贤华
;
王健
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
王健
;
李洁
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
李洁
;
钟波
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
钟波
.
中国专利
:CN110788699B
,2024-09-20
[8]
抛光垫及抛光系统
[P].
罗乙杰
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机构:
湖北鼎汇微电子材料有限公司
湖北鼎汇微电子材料有限公司
罗乙杰
;
黄振伟
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机构:
湖北鼎汇微电子材料有限公司
湖北鼎汇微电子材料有限公司
黄振伟
;
段冲
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机构:
湖北鼎汇微电子材料有限公司
湖北鼎汇微电子材料有限公司
段冲
;
高越
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机构:
湖北鼎汇微电子材料有限公司
湖北鼎汇微电子材料有限公司
高越
.
中国专利
:CN117733728A
,2024-03-22
[9]
抛光盘及抛光系统
[P].
侯晶
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侯晶
;
许乔
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许乔
;
刘世伟
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刘世伟
;
陈贤华
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陈贤华
;
王健
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王健
;
李洁
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李洁
;
钟波
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钟波
.
中国专利
:CN110788699A
,2020-02-14
[10]
抛光系统及抛光方法
[P].
梁焰
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梁焰
;
岳兴
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岳兴
;
李安庭
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李安庭
.
中国专利
:CN112872916A
,2021-06-01
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