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基片处理装置、基片处理方法和存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911375970.9
申请日：
2019-12-27
公开(公告)号：
CN111415883A
公开(公告)日：
2020-07-14
发明(设计)人：
百武宏展
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322
代理人：
龙淳;刘芃茜
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191227 |
| 2020-07-14 | 公开 | 公开 |