薄膜压电元件及其制造方法与执行元件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200410008037.5
申请日
2004-03-08
公开(公告)号
CN1527415A
公开(公告)日
2004-09-08
发明(设计)人
内山博一 柳照美
申请人
申请人地址
日本大阪府
IPC主分类号
H01L4108
IPC分类号
H01L4122
代理机构
北京市柳沈律师事务所
代理人
李贵亮;杨梧
法律状态
专利权的终止
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
薄膜压电元件及其制造方法和使用该压电元件的执行元件 [P]. 
内山博一 .
中国专利 :CN1445871A ,2003-10-01
[2]
压电薄膜及其制造方法以及压电元件 [P]. 
梅田圭一 ;
本多淳史 ;
秋山守人 ;
西久保桂子 ;
长濑智美 .
中国专利 :CN105765751B ,2016-07-13
[3]
压电执行元件及其制造方法 [P]. 
贝尔特拉姆·萨格 .
中国专利 :CN1717816A ,2006-01-04
[4]
薄膜压电元件及其制造方法 [P]. 
熊伟 ;
饭岛淳 ;
野口隆男 .
中国专利 :CN107342357B ,2017-11-10
[5]
压电薄膜元件的制造方法、压电薄膜元件以及压电薄膜元件用部件 [P]. 
池内伸介 ;
山本观照 .
中国专利 :CN102959752B ,2013-03-06
[6]
薄膜压电元件和薄膜压电元件的制造方法以及电路元件 [P]. 
和高修三 ;
三须幸一郎 ;
永塚勉 ;
木村友则 ;
龟山俊平 .
中国专利 :CN1223743A ,1999-07-21
[7]
压电元件及其制造方法、压电执行元件、液滴喷射头及装置 [P]. 
羽广英树 ;
大桥幸司 ;
中山雅夫 .
中国专利 :CN102214787A ,2011-10-12
[8]
压电元件及其制造方法 [P]. 
越户义弘 .
中国专利 :CN1568570A ,2005-01-19
[9]
压电执行元件 [P]. 
长屋年厚 ;
野野山龙彦 ;
中村雅也 ;
斋藤康善 ;
高尾尚史 ;
本间隆彦 ;
鹰取一雅 .
中国专利 :CN100511746C ,2007-08-15
[10]
压电执行元件 [P]. 
沃尔夫冈·施特克莱因 ;
弗里德里希·伯金 .
中国专利 :CN1735979A ,2006-02-15