薄膜压电元件及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610281538.3

申请日：

2016-04-28

公开(公告)号：

CN107342357B

公开(公告)日：

2017-11-10

发明(设计)人：

熊伟饭岛淳野口隆男

申请人：

申请人地址：

中国香港新界沙田香港科学园科技大道东六号新科中心

IPC主分类号：

H01L4108

IPC分类号：

H01L41083 H01L4122

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-16	授权	授权
2019-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/08 申请日:20160428
2017-11-10	公开	公开

共 50 条

[1]

压电薄膜及其制造方法以及压电元件 [P].

梅田圭一 ;

本多淳史 ;

秋山守人 ;

西久保桂子 ;

长濑智美 .

中国专利 :CN105765751B ,2016-07-13

[2]

薄膜压电元件 [P].

神野伊策 ;

原慎太郎 ;

中野貴德 .

中国专利 :CN100347872C ,2003-09-24

[3]

薄膜压电元件及其制造方法与执行元件 [P].

内山博一 ;

柳照美 .

中国专利 :CN1527415A ,2004-09-08

[4]

薄膜压电元件和薄膜压电元件的制造方法以及电路元件 [P].

和高修三 ;

三须幸一郎 ;

永塚勉 ;

木村友则 ;

龟山俊平 .

中国专利 :CN1223743A ,1999-07-21

[5]

薄膜压电元件及其制造方法和使用该压电元件的执行元件 [P].

内山博一 .

中国专利 :CN1445871A ,2003-10-01

[6]

薄膜压电元件及其制造方法、磁头折片组合及磁盘驱动器 [P].

熊伟 ;

平加拉·洛卡拉宋 ;

秦健次郎 ;

西山一志 ;

饭塚大助 ;

饭岛淳 .

中国专利 :CN103378286B ,2013-10-30

[7]

压电薄膜及其制造方法、压电元件以及喷墨记录头 [P].

久保田纯 ;

小林本和 ;

襟立信二 ;

内田文生 ;

前田宪二 ;

清水千惠美 .

中国专利 :CN1839488A ,2006-09-27

[8]

压电薄膜元件 [P].

武内幸久 ;

木村浩二 ;

高桥正郎 .

中国专利 :CN1170990A ,1998-01-21

[9]

压电元件及其制造方法 [P].

A·菲尔茨 ;

S·冈斯伯格 ;

H·弗洛里安 ;

H·卡斯特尔 .

中国专利 :CN1246914C ,2003-04-09

[10]

压电元件及其制造方法 [P].

越户义弘 .

中国专利 :CN1568570A ,2005-01-19

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