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一种新型的晶圆贴膜机
被引：0
申请号：
CN202222313877.9
申请日：
2022-08-31
公开(公告)号：
CN218160300U
公开(公告)日：
2022-12-27
发明(设计)人：
文卫成
李兴
文维德
申请人：
申请人地址：
201600 上海市松江区泗泾镇九干路319号3幢,4幢101、102室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21683
代理机构：
沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙) 13134
代理人：
韩超
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-27 | 授权 | 授权 |