用于翘曲测量的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880054588.5

申请日：

2018-08-23

公开(公告)号：

CN111033171A

公开(公告)日：

2020-04-17

发明(设计)人：

崔通布兰登·华莱士

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

G01B1116

IPC分类号：

G01B1130 G01L124 G01N360 G01N2188 G01N2516

代理机构：

北京安信方达知识产权代理有限公司 11262

代理人：

陆建萍;杨明钊

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 11/16 申请公布日:20200417
2020-04-17	公开	公开
2020-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/16 申请日:20180823

共 50 条

[1]

用于翘曲测量的装置和方法 [P].

崔通 ;

布兰登·华莱士 .

中国专利 :CN115355837A ,2022-11-18

[2]

晶片翘曲测量装置和方法 [P].

李瑞评 ;

曾柏翔 ;

陈燕 ;

张佳浩 ;

郑贤良 ;

陈铭欣 .

中国专利 :CN113013050B ,2021-06-22

[3]

晶圆翘曲测量方法及晶圆翘曲测量装置 [P].

王旭 ;

朱龙龙 .

中国专利 :CN119245556A ,2025-01-03

[4]

翘曲测量装置 [P].

冯彬 ;

张诺琦 ;

李慧 ;

谢程阳 .

中国专利 :CN223321235U ,2025-09-09

[5]

翘曲测量装置 [P].

陆玉花 .

中国专利 :CN207779320U ,2018-08-28

[6]

表面翘曲测量板以及翘曲测量装置 [P].

金秉胄 .

中国专利 :CN203349789U ,2013-12-18

[7]

翘曲测量方法、翘曲测量装置及成膜系统 [P].

刘明军 ;

徐春阳 ;

王平均 ;

郑冬 ;

刘雷 .

中国专利 :CN114061477B ,2022-02-18

[8]

用于改善衬底翘曲的方法和设备 [P].

奥马尔·J·贝希尔 ;

米林德·P·沙阿 ;

萨斯达尔·莫瓦 .

中国专利 :CN103155145A ,2013-06-12

[9]

用于测量翘曲度的装置和方法 [P].

周建明 .

中国专利 :CN110196022A ,2019-09-03

[10]

基板翘曲测量装置及测量方法 [P].

何清燕 ;

蒋辉霞 ;

曹合荣 ;

李光辉 ;

王利 ;

廖功磊 ;

郑宇 ;

陈爽 .

中国专利 :CN117238812B ,2024-04-05

← 1 2 3 4 5 →