抛光浆料及其制备方法和基板的抛光方法

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专利类型
发明
申请号
CN200510055087.3
申请日
2005-03-11
公开(公告)号
CN1667026A
公开(公告)日
2005-09-14
发明(设计)人
金大亨 洪锡敏 全宰贤 金晧性 朴炫洙 白雲揆 朴在勤 金容国
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
C08J314
IPC分类号
H01L21304
代理机构
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人
寿宁;张华辉
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
抛光浆料及其制备方法和基板的抛光方法 [P]. 
金大亨 ;
洪锡敏 ;
全宰贤 ;
金晧性 ;
朴炫洙 ;
白雲揆 ;
朴在勤 ;
金容国 .
中国专利 :CN1944496B ,2007-04-11
[2]
抛光浆料及其制备方法和抛光基板的方法 [P]. 
金大亨 ;
洪锡敏 ;
全宰贤 ;
白云揆 ;
朴在勤 ;
金容国 .
中国专利 :CN101092543B ,2007-12-26
[3]
抛光浆料及其制备方法和抛光基板的方法 [P]. 
金大亨 ;
洪锡敏 ;
全宰贤 ;
白云揆 ;
朴在勤 ;
金容国 .
中国专利 :CN1737071A ,2006-02-22
[4]
化学机械抛光浆料及抛光基板的方法 [P]. 
金大亨 ;
洪锡敏 ;
全宰贤 ;
金皓性 ;
朴炫洙 ;
白云揆 ;
朴在勤 ;
金容国 .
中国专利 :CN1696236A ,2005-11-16
[5]
钨抛光浆料和抛光衬底的方法 [P]. 
朴珍亨 .
中国专利 :CN106883766B ,2017-06-23
[6]
抛光浆料和通过使用抛光浆料抛光基板的方法 [P]. 
赵玹辰 ;
裵俊和 ;
秋秉权 ;
曹雨辰 ;
朴珍亨 .
中国专利 :CN110317538A ,2019-10-11
[7]
磨料颗粒、抛光浆料及其制造方法 [P]. 
金大亨 ;
洪锡敏 ;
金容国 ;
金东炫 ;
徐明源 ;
朴在勤 ;
白云揆 .
中国专利 :CN101255286B ,2008-09-03
[8]
抛光浆料和抛光方法 [P]. 
张力飞 ;
谢顺帆 ;
曹均助 ;
顾忠华 ;
刘洪涛 ;
王同庆 ;
路新春 .
中国专利 :CN119490793A ,2025-02-21
[9]
浆料和使用其的衬底抛光方法 [P]. 
朴珍亨 .
中国专利 :CN107011805A ,2017-08-04
[10]
抛光浆料以及使用所述抛光浆料的衬底抛光方法 [P]. 
郑胜元 .
中国专利 :CN104746080A ,2015-07-01