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一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621327257.9
申请日：
2016-12-05
公开(公告)号：
CN206486587U
公开(公告)日：
2017-09-12
发明(设计)人：
苏陟
申请人：
申请人地址：
510663 广东省广州市高新技术产业开发区开源大道11号A5栋第六层
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
谭英强
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-09-12 | 授权 | 授权 |