一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211619364.9

申请日：

2022-12-15

公开(公告)号：

CN115928032B

公开(公告)日：

2024-05-10

发明(设计)人：

刘建波

申请人：

昆山东威科技股份有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇东定路东侧

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/56 C23C14/54

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

汤荞赫

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-10	授权	授权

共 50 条

[1]

卷绕式双面磁控溅射真空镀膜设备 [P].

严佐毅 ;

刘文卿 .

中国专利 :CN208667836U ,2019-03-29

[2]

一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

张永胜 ;

梁得刚 ;

张永祺 ;

王岩 ;

李坤 .

中国专利 :CN218089774U ,2022-12-20

[3]

柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

谈琦 .

中国专利 :CN104593743B ,2015-05-06

[4]

柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

谈琦 .

中国专利 :CN204509447U ,2015-07-29

[5]

磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

甘国工 .

中国专利 :CN200996042Y ,2007-12-26

[6]

磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

甘国工 .

中国专利 :CN100532633C ,2008-06-04

[7]

一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备 [P].

孟灵灵 ;

黄新民 ;

汪诚威 ;

敖翔 .

中国专利 :CN112695289A ,2021-04-23

[8]

一种双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

朱锡芳 ;

杨辉 ;

许清泉 ;

陈功 ;

徐安成 .

中国专利 :CN104611682B ,2015-05-13

[9]

一种磁控溅射卷绕镀膜设备 [P].

叶顶华 ;

孙萌 ;

王法营 .

中国专利 :CN220335295U ,2024-01-12

[10]

一种磁控溅射卷绕镀膜设备 [P].

吴培服 ;

陆敬权 ;

叶珈源 .

中国专利 :CN216786248U ,2022-06-21

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