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一种磁控溅射卷绕镀膜设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321579142.9
申请日：
2023-06-19
公开(公告)号：
CN220335295U
公开(公告)日：
2024-01-12
发明(设计)人：
叶顶华
孙萌
王法营
申请人：
杭州豫荣真空镀膜设备有限公司
申请人地址：
311199 浙江省杭州市临平区星桥街道星发街333号
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
C23C14/35
B08B1/12
B08B1/20
B08B1/34
B08B13/00
代理机构：
温州名创知识产权代理有限公司 33258
代理人：
方剑宏
法律状态：
授权
国省代码：
浙江省
杭州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-12 | 授权 | 授权 |
| 2025-06-13 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20230619授权公告日:20240112 |