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磁控溅射靶材护罩及磁控溅射卷绕镀膜设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201320390426.3
申请日：
2013-07-02
公开(公告)号：
CN203382815U
公开(公告)日：
2014-01-08
发明(设计)人：
李晨光
徐少东
申请人：
申请人地址：
330000 江西省南昌市南昌经济技术开发区黄家湖路
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
邓云鹏
法律状态：
避免重复授权放弃专利权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-09-09 | 避免重复授权放弃专利权 | 避免重复授权放弃专利权 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101720216227 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2013203904263 申请日:20130702 授权公告日:20140108 放弃生效日:20150909 |
| 2014-01-08 | 授权 | 授权 |