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一种多靶材双面镀膜磁控溅射卷绕镀膜设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011510439.0
申请日：
2020-12-18
公开(公告)号：
CN112695289A
公开(公告)日：
2021-04-23
发明(设计)人：
孟灵灵 黄新民 汪诚威 敖翔
申请人：
申请人地址：
224051 江苏省盐城市希望大道中路1号
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
C23C1435 C23C1458
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-08-06 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20201218
2021-04-23 公开 公开
共 50 条
[1]
一种双面磁控溅射卷绕镀膜设备 [P]. 
刘建波 .
中国专利 :CN115928032B ,2024-05-10
[2]
一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构 [P]. 
孟灵灵 ;
黄新民 ;
严忠杰 ;
仲珍珍 ;
敖翔 .
中国专利 :CN112725758A ,2021-04-30
[3]
磁控溅射靶材护罩及磁控溅射卷绕镀膜设备 [P]. 
李晨光 ;
徐少东 .
中国专利 :CN103343322A ,2013-10-09
[4]
磁控溅射靶材护罩及磁控溅射卷绕镀膜设备 [P]. 
李晨光 ;
徐少东 .
中国专利 :CN203382815U ,2014-01-08
[5]
一种磁控溅射卷绕镀膜设备 [P]. 
叶顶华 ;
孙萌 ;
王法营 .
中国专利 :CN220335295U ,2024-01-12
[6]
一种磁控溅射卷绕镀膜设备 [P]. 
吴培服 ;
陆敬权 ;
叶珈源 .
中国专利 :CN216786248U ,2022-06-21
[7]
一种磁控溅射卷绕镀膜设备 [P]. 
王荣福 .
中国专利 :CN213924996U ,2021-08-10
[8]
一种磁控溅射卷绕镀膜设备的镀膜室 [P]. 
余荣沾 ;
王忠雨 ;
袁世成 ;
张欣 ;
于小杰 .
中国专利 :CN216005999U ,2022-03-11
[9]
一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜装置 [P]. 
苏陟 .
中国专利 :CN206486587U ,2017-09-12
[10]
一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜装置 [P]. 
桂礼家 ;
徐地华 .
中国专利 :CN207958491U ,2018-10-12
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