晶圆清洗装置及其工作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811391846.7

申请日：

2018-11-21

公开(公告)号：

CN109545714A

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

吴康李丹高英哲张文福刘家桦叶日铨

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

徐文欣;吴敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181121
2021-01-22	授权	授权
2019-03-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆背面清洗装置及其工作方法 [P].

周贤炳 .

中国专利 :CN118919479A ,2024-11-08

[2]

晶圆清洗装置及其晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

张文福 ;

叶日铨 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN109065475A ,2018-12-21

[3]

一种半导体晶圆清洗装置及其工作方法 [P].

罗云红 ;

黄晓波 .

中国专利 :CN112864059A ,2021-05-28

[4]

晶圆清洗装置及其清洗方法 [P].

董学儒 ;

蔡奉儒 .

中国专利 :CN111223791B ,2020-06-02

[5]

晶圆清洗装置及其清洗方法 [P].

李松 .

中国专利 :CN106944381A ,2017-07-14

[6]

晶圆清洗装置及其清洗方法 [P].

杭明光 .

中国专利 :CN115312426A ,2022-11-08

[7]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[8]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

刘佳奇 ;

姚零一 .

中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30

[9]

晶圆清洗装置与晶圆清洗方法 [P].

祝君龙 ;

李君 ;

顾立勋 ;

赖睿彬 .

中国专利 :CN113020078A ,2021-06-25

[10]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

马玲 ;

韦亚一 ;

徐步青 ;

董立松 .

中国专利 :CN108649006B ,2018-10-12

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