一种电感线圈组及电感耦合等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310627135.6

申请日：

2013-11-28

公开(公告)号：

CN104684235A

公开(公告)日：

2015-06-03

发明(设计)人：

王俊倪图强左涛涛

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

上海智信专利代理有限公司 31002

代理人：

王洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101615759855 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2013106271356 申请日:20131128
2017-07-07	授权	授权
2015-06-03	公开	公开
2019-04-05	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H05H 1/46 变更事项:专利权人变更前:中微半导体设备（上海）有限公司变更后:中微半导体设备（上海）股份有限公司变更事项:地址变更前:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号变更后:201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

共 50 条

[1]

一种电感线圈及电感耦合等离子体处理装置 [P].

倪图强 ;

梁洁 .

中国专利 :CN104637767B ,2015-05-20

[2]

一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置 [P].

唐乐 ;

王兆祥 ;

李可 ;

梁洁 ;

彭国发 ;

张朋兵 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN118984520B ,2025-01-24

[3]

一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置 [P].

唐乐 ;

王兆祥 ;

李可 ;

梁洁 ;

彭国发 ;

张朋兵 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN118984520A ,2024-11-19

[4]

等离子体处理装置及其电感耦合线圈 [P].

叶如彬 ;

倪图强 .

中国专利 :CN103456592A ,2013-12-18

[5]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

刘宏 ;

刘晓晗 ;

袁洁静 .

中国专利 :CN201311804Y ,2009-09-16

[6]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 ;

南建辉 .

中国专利 :CN101131893A ,2008-02-27

[7]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

刘宏 ;

刘晓晗 ;

袁洁静 .

中国专利 :CN101409126A ,2009-04-15

[8]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 ;

南建辉 .

中国专利 :CN101136279B ,2008-03-05

[9]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

金禹贤 ;

刘光钟 ;

崔载勋 ;

卢德熙 ;

金正洙 ;

金东煜 .

韩国专利 :CN119517715A ,2025-02-25

[10]

一种电感耦合等离子体处理装置 [P].

谢小兵 ;

黄智林 ;

万磊 ;

王俊 ;

刘身健 ;

梁洁 .

中国专利 :CN105470087A ,2016-04-06

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