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一种磨削废料收集装置和晶圆减薄设备
被引：0
申请号：
CN202211299958.6
申请日：
2022-10-24
公开(公告)号：
CN115488771A
公开(公告)日：
2022-12-20
发明(设计)人：
李小娟
马旭
刘远航
申请人：
申请人地址：
300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
IPC主分类号：
B24B5512
IPC分类号：
B24B722
B24B2902
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-20 | 公开 | 公开 |
| 2023-01-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 55/12 申请日:20221024 |