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一种磨削工作台和晶圆减薄设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010430230.7
申请日：
2020-05-20
公开(公告)号：
CN111421412B
公开(公告)日：
2020-07-17
发明(设计)人：
刘远航 王江涛 赵德文 李长坤 路新春
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区清华园1号
IPC主分类号：
B24B722
IPC分类号：
B24B2700 B24B4102 B24B4106
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-03-04 授权 授权
2020-07-17 公开 公开
2020-08-11 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 7/22 申请日:20200520
共 50 条
[1]
一种磨削工作台和晶圆减薄设备 [P]. 
刘远航 ;
王江涛 ;
赵德文 ;
李长坤 ;
路新春 .
中国专利 :CN212240352U ,2020-12-29
[2]
磨削工作台和晶圆磨削设备 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN221967649U ,2024-11-08
[3]
一种工作台及晶圆减薄机 [P]. 
林世权 ;
卓柳福 ;
刘全益 ;
胡敬祥 .
中国专利 :CN115771077B ,2025-06-17
[4]
一种旋转工作台及晶圆减薄机 [P]. 
贺东葛 ;
杨生荣 ;
张文斌 ;
刘宇光 ;
白阳 .
中国专利 :CN105538147A ,2016-05-04
[5]
一种晶圆减薄机磨削装置 [P]. 
陈超 .
中国专利 :CN117754382B ,2024-08-13
[6]
一种晶圆减薄机磨削装置 [P]. 
陈超 .
中国专利 :CN117754382A ,2024-03-26
[7]
一种磨削废料收集装置和晶圆减薄设备 [P]. 
李小娟 ;
马旭 ;
刘远航 .
中国专利 :CN115488771A ,2022-12-20
[8]
一种磨削废料收集装置和晶圆减薄设备 [P]. 
李小娟 ;
马旭 ;
刘远航 .
中国专利 :CN218194599U ,2023-01-03
[9]
一种晶圆挑晶工作台 [P]. 
殷泽安 .
中国专利 :CN223401571U ,2025-09-30
[10]
晶圆减薄加工设备 [P]. 
庞金明 ;
张志军 .
中国专利 :CN119260543A ,2025-01-07
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