一种湿法刻蚀工艺的控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310337525.X

申请日：

2013-08-02

公开(公告)号：

CN103441089A

公开(公告)日：

2013-12-11

发明(设计)人：

陈毅俊明玉亮

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

竺路玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101562123892 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201310337525X 申请日:20130802
2013-12-11	公开	公开
2016-12-28	授权	授权

共 50 条

[1]

用于湿法刻蚀工艺的雾化喷嘴及湿法刻蚀工艺方法 [P].

李帅臣 ;

周宏杰 ;

周军奎 ;

瞿灵杰 ;

朱学新 .

中国专利 :CN119425973A ,2025-02-14

[2]

湿法刻蚀控制系统、湿法刻蚀机和湿法刻蚀控制方法 [P].

陈信宏 ;

黄焱誊 .

中国专利 :CN114171424A ,2022-03-11

[3]

用于湿法刻蚀工艺的雾化喷嘴及湿法刻蚀工艺方法 [P].

李帅臣 ;

周宏杰 ;

周军奎 ;

瞿灵杰 ;

朱学新 .

中国专利 :CN119425973B ,2025-04-22

[4]

一种湿法刻蚀工艺 [P].

刘光 ;

朱生宾 ;

王永丰 ;

谢忠阳 .

中国专利 :CN102569502A ,2012-07-11

[5]

一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀的方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN106898569A ,2017-06-27

[6]

湿法刻蚀工艺建模方法 [P].

孙佳 ;

曹欣雨 ;

骆静宜 .

中国专利 :CN118734551A ,2024-10-01

[7]

一种控制湿法刻蚀形貌的方法 [P].

牛科研 ;

雷嘉成 ;

郭德霄 .

中国专利 :CN119480636A ,2025-02-18

[8]

湿法刻蚀工艺中刻蚀速率的调节方法 [P].

李松 ;

瞿治军 ;

李志国 ;

金新 .

中国专利 :CN120413421A ,2025-08-01

[9]

用于湿法刻蚀工艺的夹具和湿法刻蚀装置 [P].

孟亚明 ;

顾金辉 ;

徐青青 .

中国专利 :CN217239430U ,2022-08-19

[10]

一种硅湿法刻蚀工艺 [P].

史铁林 ;

聂磊 ;

廖广兰 ;

林晓辉 .

中国专利 :CN100383932C ,2005-12-21

← 1 2 3 4 5 →