一种控制湿法刻蚀形貌的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411568012.4

申请日：

2024-11-05

公开(公告)号：

CN119480636A

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

牛科研雷嘉成郭德霄

申请人：

上海新微半导体有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区飞渡路2020号

IPC主分类号：

H01L21/311

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/311申请日:20241105
2025-02-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种关于石英湿法刻蚀后刻蚀形貌观察的工艺 [P].

计姗姗 ;

雷健华 ;

夏广贤 ;

夏良军 .

中国专利 :CN117825117A ,2024-04-05

[2]

湿法刻蚀控制系统、湿法刻蚀机和湿法刻蚀控制方法 [P].

陈信宏 ;

黄焱誊 .

中国专利 :CN114171424A ,2022-03-11

[3]

一种湿法刻蚀设备和湿法刻蚀的方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN106898569A ,2017-06-27

[4]

一种湿法刻蚀工艺的控制方法 [P].

陈毅俊 ;

明玉亮 .

中国专利 :CN103441089A ,2013-12-11

[5]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

褚海波 .

中国专利 :CN110364421B ,2019-10-22

[6]

一种湿法刻蚀方法及湿法刻蚀设备 [P].

陈会敏 ;

邱杰振 ;

田锋 .

中国专利 :CN120656953A ,2025-09-16

[7]

一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

房现飞 ;

周广福 ;

代智杰 ;

孟原 .

中国专利 :CN103409752A ,2013-11-27

[8]

湿法刻蚀系统、湿法刻蚀方法 [P].

姚嫦娲 .

中国专利 :CN103985660B ,2014-08-13

[9]

一种用于湿法刻蚀的喷嘴、湿法刻蚀设备 [P].

吴良辉 ;

蒋阳波 ;

李君 ;

张静平 ;

游晓英 .

中国专利 :CN107591348A ,2018-01-16

[10]

湿法刻蚀的方法 [P].

孙天杨 ;

余桥 ;

张晓山 .

中国专利 :CN114446765A ,2022-05-06

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