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湿法刻蚀的方法

被引：0
申请号：
CN202011219380.X
申请日：
2020-11-04
公开(公告)号：
CN114446765A
公开(公告)日：
2022-05-06
发明(设计)人：
孙天杨 余桥 张晓山
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
徐文欣
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-05-06 公开 公开
2022-05-24 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20201104
共 50 条
[1]
湿法刻蚀的方法 [P]. 
孙天杨 ;
余桥 ;
张晓山 .
中国专利 :CN114446765B ,2025-11-18
[2]
湿法刻蚀系统及湿法刻蚀方法 [P]. 
薛大鹏 .
中国专利 :CN106653659A ,2017-05-10
[3]
湿法刻蚀方法以及湿法刻蚀设备 [P]. 
张凌越 ;
王强 .
中国专利 :CN102437045A ,2012-05-02
[4]
湿法刻蚀方法 [P]. 
符德荣 ;
林凤雏 ;
高郁聪 .
中国专利 :CN112309888A ,2021-02-02
[5]
湿法刻蚀系统、湿法刻蚀方法 [P]. 
姚嫦娲 .
中国专利 :CN103985660B ,2014-08-13
[6]
湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P]. 
丁向前 ;
刘晓伟 ;
刘耀 ;
郭总杰 .
中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03
[7]
湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P]. 
陆丛希 .
中国专利 :CN121149048A ,2025-12-16
[8]
湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P]. 
郝晓波 .
中国专利 :CN103606518B ,2014-02-26
[9]
湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P]. 
刘哲准 .
中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16
[10]
湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P]. 
薛大鹏 .
中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06
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