用于湿法刻蚀工艺的夹具和湿法刻蚀装置

被引：0

申请号：

CN202122629035.X

申请日：

2021-10-29

公开(公告)号：

CN217239430U

公开(公告)日：

2022-08-19

发明(设计)人：

孟亚明顾金辉徐青青

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-22

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

田婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-19	授权	授权

共 50 条

[1]

湿法刻蚀器件和湿法刻蚀机 [P].

刘峻承 ;

涂智超 ;

黄于维 .

中国专利 :CN204596768U ,2015-08-26

[2]

湿法刻蚀设备和湿法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘晓伟 ;

刘耀 ;

郭总杰 .

中国专利 :CN104018158A ,2014-09-03

[3]

用于湿法刻蚀工艺的雾化喷嘴及湿法刻蚀工艺方法 [P].

李帅臣 ;

周宏杰 ;

周军奎 ;

瞿灵杰 ;

朱学新 .

中国专利 :CN119425973A ,2025-02-14

[4]

用于湿法刻蚀工艺的雾化喷嘴及湿法刻蚀工艺方法 [P].

李帅臣 ;

周宏杰 ;

周军奎 ;

瞿灵杰 ;

朱学新 .

中国专利 :CN119425973B ,2025-04-22

[5]

湿法刻蚀装置 [P].

乔鹏 .

中国专利 :CN223471577U ,2025-10-24

[6]

湿法刻蚀槽以及湿法刻蚀设备 [P].

刘海亮 ;

王鹏涛 ;

严清涛 ;

许非凡 .

中国专利 :CN206541807U ,2017-10-03

[7]

湿法刻蚀装置 [P].

兰升友 ;

袁山富 .

中国专利 :CN217822683U ,2022-11-15

[8]

湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置 [P].

郝晓波 .

中国专利 :CN103606518B ,2014-02-26

[9]

用于湿法刻蚀设备的超声检测装置及湿法刻蚀设备 [P].

王玺润 ;

刘佳磊 ;

崔爽 .

中国专利 :CN222813551U ,2025-04-29

[10]

湿法刻蚀系统、湿法刻蚀方法 [P].

姚嫦娲 .

中国专利 :CN103985660B ,2014-08-13

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