用于湿法刻蚀设备的超声检测装置及湿法刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421739130.2

申请日：

2024-07-22

公开(公告)号：

CN222813551U

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

王玺润刘佳磊崔爽

申请人：

芯恩（青岛）集成电路有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/687 H01L21/306 G01D21/02

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

用于湿法刻蚀设备的X射线检测装置及湿法刻蚀设备 [P].

王玺润 ;

刘佳磊 ;

崔爽 .

中国专利 :CN222721906U ,2025-04-04

[2]

湿法刻蚀设备的升降器水平检测装置及湿法刻蚀设备 [P].

崔爽 ;

唐海银 .

中国专利 :CN221173366U ,2024-06-18

[3]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

刘哲准 .

中国专利 :CN118352261A ,2024-07-16

[4]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

陆丛希 .

中国专利 :CN121149048A ,2025-12-16

[5]

湿法刻蚀槽以及湿法刻蚀设备 [P].

刘海亮 ;

王鹏涛 ;

严清涛 ;

许非凡 .

中国专利 :CN206541807U ,2017-10-03

[6]

湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法 [P].

薛大鹏 .

中国专利 :CN105742213B ,2016-07-06

[7]

湿法刻蚀设备 [P].

方灵新 ;

王钊 ;

杨洁 ;

张昕宇 ;

沈梦超 ;

顾文贤 .

中国专利 :CN222814767U ,2025-04-29

[8]

湿法刻蚀设备 [P].

董新杰 .

中国专利 :CN205881881U ,2017-01-11

[9]

湿法刻蚀设备 [P].

干怀渝 ;

迟世兴 ;

赵嘉 ;

杜清龙 .

中国专利 :CN220400547U ,2024-01-26

[10]

湿法刻蚀设备 [P].

范学丽 ;

孙文昌 .

中国专利 :CN202126999U ,2012-01-25

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