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光学邻近效应的修正方法

被引：0
申请号：
CN202211049703.4
申请日：
2022-08-30
公开(公告)号：
CN115453815A
公开(公告)日：
2022-12-09
发明(设计)人：
康帅
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
IPC主分类号：
G03F136
IPC分类号：
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
刘昌荣
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-09 公开 公开
2022-12-27 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20220830
共 50 条
[1]
光学邻近效应的修正方法 [P]. 
罗连波 ;
刘文东 ;
丁丽华 ;
程仁强 .
中国专利 :CN117518726A ,2024-02-06
[2]
光学邻近效应的修正方法 [P]. 
朱画 ;
苌现 ;
张帆 .
中国专利 :CN121187063A ,2025-12-23
[3]
光学邻近效应修正方法 [P]. 
许征 ;
孟鸿林 ;
储志浩 .
中国专利 :CN120469147A ,2025-08-12
[4]
光学邻近效应修正方法及其修正系统 [P]. 
乔彦辉 ;
王丹 ;
于世瑞 .
中国专利 :CN110456617A ,2019-11-15
[5]
光学邻近效应修正方法和系统 [P]. 
万金垠 ;
王谨恒 ;
张雷 ;
陈洁 .
中国专利 :CN106483758B ,2017-03-08
[6]
修正光学邻近效应的方法 [P]. 
崔在升 .
中国专利 :CN101311825B ,2008-11-26
[7]
修正光学邻近效应的方法 [P]. 
林金隆 .
中国专利 :CN1171126C ,2002-07-31
[8]
光学邻近效应修正的方法 [P]. 
谢昌志 ;
林本立 ;
陈明瑞 .
中国专利 :CN1403873A ,2003-03-19
[9]
一种光学邻近效应修正方法 [P]. 
黄双龙 ;
倪凌云 ;
黄增智 ;
夏睿 .
中国专利 :CN110501870A ,2019-11-26
[10]
一种光学邻近效应修正方法 [P]. 
黄双龙 ;
倪凌云 ;
黄增智 ;
夏睿 .
中国专利 :CN110501870B ,2024-03-15
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