光学邻近效应修正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510898347.0

申请日：

2025-06-30

公开(公告)号：

CN120469147A

公开(公告)日：

2025-08-12

发明(设计)人：

许征孟鸿林储志浩

申请人：

上海华力集成电路制造有限公司

申请人地址：

201314 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

钟晶

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/36申请日:20250630
2025-08-12	公开	公开

共 50 条

[1]

光学邻近效应修正方法及其修正系统 [P].

乔彦辉 ;

王丹 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110456617A ,2019-11-15

[2]

光学邻近效应修正方法和系统 [P].

万金垠 ;

王谨恒 ;

张雷 ;

陈洁 .

中国专利 :CN106483758B ,2017-03-08

[3]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

黄双龙 ;

倪凌云 ;

黄增智 ;

夏睿 .

中国专利 :CN110501870A ,2019-11-26

[4]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

黄双龙 ;

倪凌云 ;

黄增智 ;

夏睿 .

中国专利 :CN110501870B ,2024-03-15

[5]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

刘娟 .

中国专利 :CN102103324A ,2011-06-22

[6]

光学邻近效应的修正方法 [P].

罗连波 ;

刘文东 ;

丁丽华 ;

程仁强 .

中国专利 :CN117518726A ,2024-02-06

[7]

光学邻近效应的修正方法 [P].

康帅 .

中国专利 :CN115453815A ,2022-12-09

[8]

光学邻近效应的修正方法 [P].

朱画 ;

苌现 ;

张帆 .

中国专利 :CN121187063A ,2025-12-23

[9]

光学邻近效应修正的方法 [P].

谢昌志 ;

林本立 ;

陈明瑞 .

中国专利 :CN1403873A ,2003-03-19

[10]

光学邻近效应修正方法、装置、设备及存储介质 [P].

苌现 ;

朱画 ;

张帆 .

中国专利 :CN120993682A ,2025-11-21

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