一种光学邻近效应修正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910797126.9

申请日：

2019-08-27

公开(公告)号：

CN110501870A

公开(公告)日：

2019-11-26

发明(设计)人：

黄双龙倪凌云黄增智夏睿

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-26	公开	公开
2019-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20190827
2023-01-06	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F 1/36 登记生效日:20221223 变更事项:申请人变更前权利人:德淮半导体有限公司变更后权利人:淮安西德工业设计有限公司变更事项:地址变更前权利人:223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号变更后权利人:223001 江苏省淮安市淮阴区钱江路南侧、市振达钢管公司东侧6幢318室

共 50 条

[1]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

黄双龙 ;

倪凌云 ;

黄增智 ;

夏睿 .

中国专利 :CN110501870B ,2024-03-15

[2]

光学邻近效应修正方法 [P].

许征 ;

孟鸿林 ;

储志浩 .

中国专利 :CN120469147A ,2025-08-12

[3]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

刘娟 .

中国专利 :CN102103324A ,2011-06-22

[4]

光学邻近效应修正方法及其修正系统 [P].

乔彦辉 ;

王丹 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110456617A ,2019-11-15

[5]

光学邻近效应修正方法和系统 [P].

万金垠 ;

王谨恒 ;

张雷 ;

陈洁 .

中国专利 :CN106483758B ,2017-03-08

[6]

光学邻近效应的修正方法 [P].

罗连波 ;

刘文东 ;

丁丽华 ;

程仁强 .

中国专利 :CN117518726A ,2024-02-06

[7]

光学邻近效应的修正方法 [P].

康帅 .

中国专利 :CN115453815A ,2022-12-09

[8]

光学邻近效应的修正方法 [P].

朱画 ;

苌现 ;

张帆 .

中国专利 :CN121187063A ,2025-12-23

[9]

光学邻近效应修正的方法 [P].

谢昌志 ;

林本立 ;

陈明瑞 .

中国专利 :CN1403873A ,2003-03-19

[10]

一种光学邻近效应修正优化方法 [P].

苏正龙 ;

王康 ;

罗招龙 .

中国专利 :CN121069711A ,2025-12-05

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