一种光学邻近效应修正优化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511544772.6

申请日：

2025-10-28

公开(公告)号：

CN121069711A

公开(公告)日：

2025-12-05

发明(设计)人：

苏正龙王康罗招龙

申请人：

合肥晶合集成电路股份有限公司

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

宋艳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20251028
2025-12-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光学邻近效应修正模型的优化方法 [P].

江志兴 ;

王伟斌 ;

魏芳 ;

吕煜坤 ;

朱骏 ;

张旭升 .

中国专利 :CN105223771A ,2016-01-06

[2]

光学邻近效应修正的方法 [P].

谢昌志 ;

林本立 ;

陈明瑞 .

中国专利 :CN1403873A ,2003-03-19

[3]

光学邻近效应修正方法 [P].

许征 ;

孟鸿林 ;

储志浩 .

中国专利 :CN120469147A ,2025-08-12

[4]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

黄双龙 ;

倪凌云 ;

黄增智 ;

夏睿 .

中国专利 :CN110501870A ,2019-11-26

[5]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

黄双龙 ;

倪凌云 ;

黄增智 ;

夏睿 .

中国专利 :CN110501870B ,2024-03-15

[6]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

刘娟 .

中国专利 :CN102103324A ,2011-06-22

[7]

光学邻近效应修正方法及其修正系统 [P].

乔彦辉 ;

王丹 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110456617A ,2019-11-15

[8]

一种优化光学邻近效应修正中曝光辅助图形的方法 [P].

付欣欣 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN111812940A ,2020-10-23

[9]

光学邻近效应修正方法和系统 [P].

万金垠 ;

王谨恒 ;

张雷 ;

陈洁 .

中国专利 :CN106483758B ,2017-03-08

[10]

一种基于模型的光学邻近效应修正优化方法、装置及设备 [P].

姚逸云 ;

王栋 ;

袁伟 .

中国专利 :CN120831862A ,2025-10-24

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