一种优化光学邻近效应修正中曝光辅助图形的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010802375.5

申请日：

2020-08-11

公开(公告)号：

CN111812940A

公开(公告)日：

2020-10-23

发明(设计)人：

付欣欣于世瑞

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

曹廷廷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20200811
2020-10-23	公开	公开

共 50 条

[1]

光学邻近效应修正中散射条的嵌入方法 [P].

吴宗晔 ;

叶甜春 ;

罗军 ;

赵杰 ;

王云 .

中国专利 :CN113031388A ,2021-06-25

[2]

一种光学邻近效应修正优化方法 [P].

苏正龙 ;

王康 ;

罗招龙 .

中国专利 :CN121069711A ,2025-12-05

[3]

一种光学邻近效应修正模型的优化方法 [P].

江志兴 ;

王伟斌 ;

魏芳 ;

吕煜坤 ;

朱骏 ;

张旭升 .

中国专利 :CN105223771A ,2016-01-06

[4]

光学邻近效应修正的方法 [P].

谢昌志 ;

林本立 ;

陈明瑞 .

中国专利 :CN1403873A ,2003-03-19

[5]

光学邻近效应修正方法 [P].

许征 ;

孟鸿林 ;

储志浩 .

中国专利 :CN120469147A ,2025-08-12

[6]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

黄双龙 ;

倪凌云 ;

黄增智 ;

夏睿 .

中国专利 :CN110501870A ,2019-11-26

[7]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

黄双龙 ;

倪凌云 ;

黄增智 ;

夏睿 .

中国专利 :CN110501870B ,2024-03-15

[8]

一种光学邻近效应修正方法 [P].

刘娟 .

中国专利 :CN102103324A ,2011-06-22

[9]

光学邻近效应修正方法及其修正系统 [P].

乔彦辉 ;

王丹 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110456617A ,2019-11-15

[10]

一种基于模型的光学邻近效应修正优化方法、装置及设备 [P].

姚逸云 ;

王栋 ;

袁伟 .

中国专利 :CN120831862A ,2025-10-24

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