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光学邻近效应修正中散射条的嵌入方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110218077.6
申请日：
2021-02-26
公开(公告)号：
CN113031388A
公开(公告)日：
2021-06-25
发明(设计)人：
吴宗晔
叶甜春
罗军
赵杰
王云
申请人：
申请人地址：
510535 广东省广州市广州开发区开源大道136号A栋
IPC主分类号：
G03F136
IPC分类号：
G03F720
代理机构：
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人：
王志红
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-02 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):G03F 1/36 登记生效日:20220819 变更事项:申请人 变更前权利人:广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 变更后权利人:广东省大湾区集成电路与系统应用研究院 变更事项:地址 变更前权利人:510535 广东省广州市广州开发区开源大道136号A栋 变更后权利人:510535 广东省广州市广州开发区开源大道136号A栋 变更事项:申请人 变更前权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司 变更后权利人:锐立平芯微电子（广州）有限责任公司 |
| 2021-07-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20210226 |
| 2021-06-25 | 公开 | 公开 |