提升光学邻近效应修正处理效率的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211164145.6

申请日：

2022-09-23

公开(公告)号：

CN115494694B

公开(公告)日：

2025-09-02

发明(设计)人：

李萌

申请人：

上海华力集成电路制造有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

刘昌荣

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-02	授权	授权

共 50 条

[1]

提升光学邻近效应修正处理效率的方法 [P].

李萌 .

中国专利 :CN115494694A ,2022-12-20

[2]

光学邻近效应修正的方法 [P].

谢昌志 ;

林本立 ;

陈明瑞 .

中国专利 :CN1403873A ,2003-03-19

[3]

光学邻近效应修正方法 [P].

许征 ;

孟鸿林 ;

储志浩 .

中国专利 :CN120469147A ,2025-08-12

[4]

光学邻近效应修正方法及其修正系统 [P].

乔彦辉 ;

王丹 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110456617A ,2019-11-15

[5]

光学邻近效应修正方法和系统 [P].

万金垠 ;

王谨恒 ;

张雷 ;

陈洁 .

中国专利 :CN106483758B ,2017-03-08

[6]

提升成像对比度的光学邻近效应修正方法 [P].

陈宪宏 ;

曾鼎程 ;

胡展源 .

中国专利 :CN115494693A ,2022-12-20

[7]

提升成像对比度的光学邻近效应修正方法 [P].

陈宪宏 ;

曾鼎程 ;

胡展源 .

中国专利 :CN115494693B ,2025-09-02

[8]

光学邻近效应修正中散射条的嵌入方法 [P].

吴宗晔 ;

叶甜春 ;

罗军 ;

赵杰 ;

王云 .

中国专利 :CN113031388A ,2021-06-25

[9]

用于光学邻近效应修正的方法、设备和介质 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117389108A ,2024-01-12

[10]

用于光学邻近效应修正的方法、设备和介质 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117389108B ,2024-03-12

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