氮化镓外延片的钝化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710826751.2

申请日：

2017-09-14

公开(公告)号：

CN107644813A

公开(公告)日：

2018-01-30

发明(设计)人：

王波房玉龙尹甲运张志荣郭艳敏李佳芦伟立冯志红

申请人：

申请人地址：

050051 河北省石家庄市合作路113号

IPC主分类号：

H01L213205

IPC分类号：

H01L21321 H01L2920

代理机构：

石家庄国为知识产权事务所 13120

代理人：

王丽巧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-30	公开	公开
2020-11-24	授权	授权
2018-03-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3205 申请日:20170914

共 50 条

[1]

氮化镓外延片、外延方法及氮化镓基晶体管 [P].

郭艳敏 ;

房玉龙 ;

尹甲运 ;

张志荣 ;

王波 ;

李佳 ;

芦伟立 ;

高楠 ;

冯志红 .

中国专利 :CN108155224A ,2018-06-12

[2]

氮化镓外延片的快速检测方法 [P].

李刚 ;

郭爱华 .

中国专利 :CN101471271A ,2009-07-01

[3]

一种氮化镓外延层的制备方法及氮化镓外延片结构 [P].

李利哲 ;

刘宗亮 .

中国专利 :CN113643962B ,2021-11-12

[4]

氮化镓外延层的制备方法及氮化镓外延层 [P].

尹甲运 ;

房玉龙 ;

王波 ;

郭艳敏 ;

张志荣 ;

李佳 ;

芦伟立 .

中国专利 :CN109119333B ,2019-01-01

[5]

一种氮化镓外延片及其制备方法 [P].

李利哲 .

中国专利 :CN115312584B ,2025-07-22

[6]

一种氮化镓外延片及其制备方法 [P].

李利哲 .

中国专利 :CN115312584A ,2022-11-08

[7]

一种氮化镓外延片及其外延片的生长方法 [P].

李利哲 ;

王国斌 .

中国专利 :CN113818087A ,2021-12-21

[8]

氮化镓铝外延片及其制备方法 [P].

胡加辉 ;

刘春杨 ;

吕蒙普 ;

金从龙 .

中国专利 :CN115692571A ,2023-02-03

[9]

一种基于非晶衬底选区外延生长氮化镓外延片的方法及氮化镓外延片 [P].

姜平 .

中国专利 :CN120344048A ,2025-07-18

[10]

氮化镓同质外延方法 [P].

王瑞 ;

庄文荣 ;

孙明 ;

颜建峰 ;

敖辉 .

中国专利 :CN115692174A ,2023-02-03

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