一种氮化镓外延层的制备方法及氮化镓外延片结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111217872.X

申请日：

2021-10-19

公开(公告)号：

CN113643962B

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

李利哲刘宗亮

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L29205 C23C1612 C23C1630

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345

代理人：

唐学青

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	授权	授权
2021-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20211019
2021-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

氮化镓外延层的制备方法及氮化镓外延层 [P].

尹甲运 ;

房玉龙 ;

王波 ;

郭艳敏 ;

张志荣 ;

李佳 ;

芦伟立 .

中国专利 :CN109119333B ,2019-01-01

[2]

氮化镓外延层 [P].

李克涛 ;

杜晓沨 ;

李宁 ;

张信 .

中国专利 :CN114447096A ,2022-05-06

[3]

氮化镓外延片、外延方法及氮化镓基晶体管 [P].

郭艳敏 ;

房玉龙 ;

尹甲运 ;

张志荣 ;

王波 ;

李佳 ;

芦伟立 ;

高楠 ;

冯志红 .

中国专利 :CN108155224A ,2018-06-12

[4]

氮化镓外延结构 [P].

徐琳 .

中国专利 :CN216624314U ,2022-05-27

[5]

一种氮化镓外延层的生长方法以及氮化镓外延层 [P].

王建峰 .

中国专利 :CN117832062A ,2024-04-05

[6]

氮化镓外延片的钝化方法 [P].

王波 ;

房玉龙 ;

尹甲运 ;

张志荣 ;

郭艳敏 ;

李佳 ;

芦伟立 ;

冯志红 .

中国专利 :CN107644813A ,2018-01-30

[7]

氮化镓外延结构制备方法 [P].

石以瑄 ;

韩露 ;

林平澜 ;

石鹏环 .

中国专利 :CN119630017A ,2025-03-14

[8]

氮化镓外延层的制造方法 [P].

B·比尤蒙特 ;

P·吉巴尔特 ;

J－C·古劳姆 ;

G·纳塔夫 ;

M·维尔 ;

S·哈佛兹 .

中国专利 :CN1279733A ,2001-01-10

[9]

氮化镓外延结构及制备方法 [P].

杜飞 ;

张立胜 ;

杨学林 ;

沈波 ;

陈正昊 ;

卢国军 .

中国专利 :CN121152277A ,2025-12-16

[10]

一种氮化镓外延片及其制备方法 [P].

李利哲 .

中国专利 :CN115312584B ,2025-07-22

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